技术参数：
1.转速范围：100-9999RPM，转速分辨率：1RPM
2.ZD单步步长3000S，旋转时间分辨率1S
3.加速度可控范围：100-9999RPM/S
4.可处理碎片(小于1cm)至4英寸(100mm)圆晶底物
5.液晶文本显示，可提供中英文操作界面，简单易用
6.快速运行和程控运行可选，最多5组5步的程控操作模式
7.100W直流无刷电机，宽电压适用：AC100-230V输入
8.标配三种规格铝合金真空载物盘（直径10mm、25mm、55mm）
9.乳白色PP耐腐蚀外壳，耐腐蚀开模内腔
10.外型尺寸：210(W)*265(D)*213(H)
